低温等离子体去污机理：
等离子体化学反应过程中等离子体传递化学能量的过程中能量的大致传递如下：
（1）电场+电子→高能电子
（2）高能电子+分子（或原子）→（受激原子、受激集团、游离基团）活性集团
（3）活性集团+分子（原子）→生成物+热
（4）活性基团+活性基团→生成物+热
以上过程中，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离能量转移到分子或原子中去，后的能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后的这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后产生稳定的产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着至关重要的作用。

低温等离子体去污的原理:

低温等离子设备处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携带电子轰击污染物分子、使其电离、解离和激发，然后引发一系列复杂的物理、化学反应，使复杂的大分子污染物转化成小分子安全物质或使有毒有害转化成无毒无害或低毒低害的物质，从而是污染物得以解除。由于电离产生的电子能量很高，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分迅速。作为环境污染处理领域中的一项新技术，低温等离子体受到广泛的关注。

低温等离子体的应用

低温等离子体广泛应用于化工、轻工、装涂、电子、印刷、橡胶、制药、石油等行业。随着工业经济的不断发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也逐渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长时间，还会扩散和飘移到较远的地方，给环境带来了严重的影响。这些废气吸入人体，直接对人体健康产生极大地危害；另外工业废气的无控制排放是全球大气环境日益恶化，酸雨的危害引起了各国的重视。由于大气受污染的酸化，导致生态的破坏，给人类带来了巨大的损失。因此废气治理，已经迫在眉睫。